Massenflussregler Modell AFC ist zur Anzeige der Durchflussraten und zur Überwachung der Durchflussratensollwerte von Gasen konzipiert.
Jedes dieser Geräte umfasst einen fortschrittlichen, geraden Rohrsensor in Verbindung mit Durchflusselementen aus rostfreiem Stahl.
Die LED-Anzeigen der Befehlsmodule werden mit Kalibrierungen von 0 bis 100 % geliefert. Die Null und Bereichseinstellungen sind von außerhalb der Transmitter zugänglich.
Arbeitsweise Die gemessenen Gase werden in zwei laminare Ströme unterteilt, und zwar einen Strom durch die primäre Durchflussleitung und einen zweiten Strom durch ein kapillares Sensorrohr. Beide Durchflussrohre sind so konzipiert, dass laminare Ströme gewährleistet sind und demgemäß das Verhältnis ihrer Durchflussraten konstant ist.
Auf dem Sensorrohr sind zwei beheizte Wicklungen zur genauen Temperaturerfassung vorgesehen. Findet ein Durchfluss statt, so wird vom Gas Wärme von der vorgeschalteten zur nachgeschalteten Wicklung transportiert. Der resultierende Temperaturunterschied ist proportional der Änderung des Widerstands der Sensorwicklungen.
Eine Wheatstone-Brücke wird zur Überwachung des temperaturabhängigen Widerstandsgefälles an den Sensorwicklungen benutzt, das linear proportional der jeweils augenblicklichen Durchflussrate ist.
Zur Anzeige der molekularen Massenflussraten des gemessenen Gases werden Ausgangssignale von 0 bis 5 V Gleichstrom und 4 bis 20 mA erzeugt.
Die kombinierten Gasströme werden durch ein elektromagnetisches Dosierventil mit einer entsprechend gewählten Blendenöffnung geleitet. Durch die Regelung im geschlossenen Kreis wird der Massenflussausgang ständig überwacht und auf der eingestellten Durchflussrate gehalten.
Die Flussraten sind innerhalb angegebener Grenzen von Temperatur- und Druckänderungen nicht betroffen.
Massenflussregler AFC sind mit einem Elektromagnetsteuerventil ausgestattet, mit dem eine Einstellung der Durchflussleistung auf jede gewünschte Durchflussrate innerhalb des für das jeweilige Modell vorgesehenenBereichs möglich ist. Das Ventil ist aus Sicherheitsgründen normalerweise geschlossen, um sicherzustellen, dass der Gasdurchfluss bei einem Stromausfall unterbrochen wird.
Massenflussregler AFC ist zum Messen sowie zur Regelung und Überwachung der Durchflussraten von Gasen konzipiert.
Massenflussregler AFC sind für Durchflussbereiche von 10 Ncm³ bis 100 l/min [N2] lieferbar. Gasanschlüsse werden mit Rohrverschraubungen 1/4", 3/8" oder wahlweise 1/8" ausgeführt. Diese Regler können als Tischgeräte eingesetzt oder mit Schrauben in der Grundplatte befestigt werden.
Die Stromversorgungsanschlüsse der Messwertgeber sind mit Schmelzsicherungen abgesichert und mit Polaritätsschutz versehen.
Lecksicherheit Maximal 1 x 10-9 Nml/Sek. Helium an die äußere Umgebung.
Massenflusssysteme Zu kompletten Massenflusssystemen gehören Befehlsmodule, Messwertgeber und Kabel. Die Befehlsmodule umfassen entsprechende Netzteile, digitale Messgeräte für Schalttafelmontage mit LED-Anzeigen 3-1/2" und Präzisions-Potentiometer. Externe Schnittstellen RS-232 oder RS-485 sind wahlweise lieferbar.
Mit Schaltern in der Frontplatte der Befehlsmodule werden Führungssignale für LOKALEN BETRIEB oder FERNBEDIENUNG angewählt. Ein Zugang zu Analogausgängen ist durch zweckmäßige 9-polige D-Steckverbinder möglich.